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北斗儀器——晶圓接觸角測(cè)量?jī)x的5大優(yōu)勢(shì)

發(fā)布時(shí)間:2023-05-15 點(diǎn)擊次數(shù):1317

  晶圓接觸角測(cè)量?jī)x專為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x,廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究,是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備相比傳統(tǒng)的接觸角測(cè)量?jī)x,它具有以下優(yōu)勢(shì):

1、適用于大尺寸晶圓:晶圓接觸角測(cè)量?jī)x通常具有較大的測(cè)試平臺(tái),能夠容納大尺寸的晶圓,適用于半導(dǎo)體制造中常用的6-12寸的晶圓等尺寸具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>

2、高精度測(cè)量:晶圓接觸角測(cè)量?jī)x使用高精度的光學(xué)傳感器和計(jì)算算法,可以在非常小的范圍內(nèi)準(zhǔn)確測(cè)量晶圓表面的接觸角,具有高度的重復(fù)性和準(zhǔn)確性。

3、高效性:晶圓接觸角測(cè)量?jī)x可以在非常短的時(shí)間內(nèi)完成多個(gè)晶圓的測(cè)量,提高了實(shí)驗(yàn)的效率。

4、自動(dòng)化程度高:晶圓接觸角測(cè)量?jī)x通常具有自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng),可以自動(dòng)完成晶圓的定位、測(cè)量和數(shù)據(jù)處理,減少了實(shí)驗(yàn)人員的工作量和誤差。

5多功能性:晶圓接觸角測(cè)量?jī)x通常具有多種測(cè)試模式,可以測(cè)量不同類型的表面處理,如刻蝕、沉積、清洗等過程對(duì)接觸角的影響,可以提供更全面的表面質(zhì)量評(píng)估。

  綜上所述,晶圓接觸角測(cè)量?jī)x具有高效、高精度、多功能等優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體晶圓表面處理和質(zhì)量控制中具有廣泛的應(yīng)用前景。北斗儀器晶圓接觸角測(cè)量?jī)x設(shè)備采用全自動(dòng)進(jìn)液裝置,性價(jià)比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測(cè)量需求,目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

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